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行業(yè)新聞

超純水在太陽(yáng)能行業(yè)、硅片切割行業(yè)的應(yīng)用半導(dǎo)體晶片切割制造用水工藝、半導(dǎo)體芯片清洗

來源:杭州純水設(shè)備??????2021-03-23 11:25:20??????點(diǎn)擊:
杭州純化水設(shè)備 http://m.syjyht.net】超純水應(yīng)用范圍概述:

電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗

電子管生產(chǎn) 電子管陰極涂敷碳酸鹽配液

顯像管和陰極射線管生產(chǎn) 配料用純水

純水設(shè)備黑白顯像管熒光屏生產(chǎn) 玻殼清洗、沉淀、濕潤(rùn)、洗膜、管頸清洗用純水

液晶顯示器的生產(chǎn) 屏面需用純水清洗和用純水配液

晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制

集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片

二、典型工藝流程

    預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-粗混合床-精混合床-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對(duì)象 (18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

      預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.20.5μm精密過濾器-用水對(duì)象(18MΩ.CM)(最新工藝)

      預(yù)處理-一級(jí)反滲透-加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級(jí)反滲透(正電荷反滲膜)-純水箱-純水泵-EDI裝置-紫外線殺菌器-0.20.5μm精密過濾器-用水對(duì)象(17MΩ.CM) (最新工藝)    

        預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.20.5μm精密過濾器-用水對(duì)象(15MΩ.CM)(最新工藝)

    純水設(shè)備處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-純水泵-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對(duì)象 (15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

三、達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)

  顯像管、液晶顯示器用純水水質(zhì)(經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù))

    集成電路用純水水質(zhì)

    國(guó)家電子級(jí)純水標(biāo)準(zhǔn)

    美國(guó)SEMI標(biāo)準(zhǔn)

高純水的制備上。純水設(shè)備,實(shí)驗(yàn)室純水設(shè)備,杭州純化水設(shè)備,杭州GMP純化水設(shè)備。 半導(dǎo)體純水設(shè)備

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